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상품명 |
[웨이퍼 마운터]
P200/300
최대 300mm 웨이퍼 |
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원산지 |
유럽 |
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"P-200" 웨이퍼 마운터 - 최대 8" 웨이퍼 및 프레임
P-200 웨이퍼 마운터는 최대 8"의 웨이퍼/기판 및 프레임에 필름을 한 번에 접착하도록 제작되었습니다.
웨이퍼는 정전기 방지 프릿(카본)에 장착하는 동안 진공 상태로 유지됩니다.
이 프릿은 부착 공정 중에 웨이퍼 표면을 보호하고 먼지 입자를 흡수합니다.
고무 롤러를 사용하여 포일을 기포 없이 장착합니다.
절단 장치를 사용하면 필름이 프레임에서 절단되고 필름 롤의 가로 지름으로 분리됩니다.
주요 특징들
- 접착 테이프와 웨이퍼를 프레임에 한 번에 장착, 최대 8"
- 직사각형 기판, 웨이퍼의 일부 및 범프 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.
- 최대 30µ 두께의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.
- 다양한 웨이퍼, 프레임 및 호일 유형으로 빠르고 쉽게 변환
- 컴팩트하고 견고한 테이블 디자인
- 짧은 설치 및 시작 시간
- 낮은 운영 비용
- IEC 204-1 안전 표준 준수
- UPH, 장착된 웨이퍼/h 최대 80개
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P200 |
P300 |
| Width/Depth/Height (mm) |
460/680/230 mm |
600/855/245 mm |
| with Protection Tape Winder Depth (mm) |
830 mm |
1,005 mm |
| Weight (kg) |
19 kg |
24 kg |
| with Protection Tape Winder (kg) |
25 kg |
31 kg |
| Tape Width (mm) |
150 to 300 |
250 to 400 |
| Wafer Diameter (mm) |
up to 8 inch (200mm) |
up to 300 mm |
| Frame Type |
K & S or Disco (Steel or Plastic) |
| Vacuum (Ø 4 mm |
min. 75% or 188 mm Hg |
min. 75% or 188 mm Hg |
Option
- 필름 프레임 변환 키트 6"
- UV필름(PTW)용 보호필름 자동 롤업
- Anti Static Bar(ASB)-230V
- 이온화 스프레이 바 Anti Ionizing Blower(AIB)-230V
- 크린룸에 적합한 서포트 테이블
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P200 |
P300 |
| Width/Depth/Height (mm) |
460/680/230 mm |
600/855/245 mm |
| with Protection Tape Winder Depth (mm) |
830 mm |
1,005 mm |
| Weight (kg) |
19 kg |
24 kg |
| with Protection Tape Winder (kg) |
25 kg |
31 kg |
| Tape Width (mm) |
150 to 300 |
250 to 400 |
| Wafer Diameter (mm) |
up to 8 inch (200mm) |
up to 300 mm |
| Frame Type |
K & S or Disco (Steel or Plastic) |
| Vacuum (Ø 4 mm |
min. 75% or 188 mm Hg |
min. 75% or 188 mm Hg |
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Option
- 필름 프레임 변환 키트 6"
- UV필름(PTW)용 보호필름 자동 롤업
- Anti Static Bar(ASB)-230V
- 이온화 스프레이 바 Anti Ionizing Blower(AIB)-230V
- 크린룸에 적합한 서포트 테이블
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